高濃度含氟化物廢氣通過兩級換熱之後，達到一定溫度後經過to直燃爐進行（háng）高溫氧化（huà），產生氟化氫等廢氣，氟化氫有極強腐蝕性，所以TO爐需要做好防腐蝕性工作，本公司選擇強大的耐腐蝕材料作為澆鑄料，分兩次澆鑄完成，達到高（gāo）強度、高耐腐蝕的效果，保證後期設備的使用壽（shòu）命；廢氣經過1000℃的（de）高（gāo）溫氧化後，再次進入兩級（jí）換熱，與進氣的低溫廢氣進行冷熱交換後經過急冷塔，在急冷塔的作用下，溫度降至常溫，常溫的（de）廢氣經過兩（liǎng）級堿洗，達到酸堿中和（hé），達標的中性廢氣（qì）通過煙（yān）囪排入大氣。另（lìng）外控（kòng）製係統上：設備采用多監控點（diǎn）位監控，可通過手機端等終端設備（bèi）在（zài）線查（chá）看設（shè）備（bèi）使用狀態，控製係統內部采（cǎi）用以太網通訊方式，PLC與觸摸屏、上位機等（děng）采用以太網通訊方（fāng）式，廢氣治理設備也可以通過以太網與廠內其他係統進行通訊和數據交（jiāo）換，且TO前設置（zhì）LEL在線檢測裝置（檢測精度±5% F.S）和VOCs濃度傳感（gǎn）器，控製廢氣進入TO的濃度＜25%LEL， 設置二級報警點，達到一級（jí）報警點提示係統檢查，當達到二級報警點時，連鎖控製開啟新鮮空氣閥，當（dāng）報警（jǐng）持續20s時，係統緊急停車。